SYSKEY

SYSKEY是研发型和工业生产型高品质薄膜设备的领先供应商。产品组合包括磁控溅射、电子束蒸发、热蒸发设备、ALD、PEALD、RIE、PECVD 和 LPCVD,同时也提供半自动化或全自动解决方案。其优势之一就是根据客户需求定制和实现薄膜系统。