SM-200/HP-200 组合式系统

型号：SM-200/HP-200

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：SAWATEC 的 SM-200/HP-200 是由 SM-200 匀胶和 HP-200 热板组成的一个紧凑的柜式机，这种组合式系统非常适用于研究开发和试产项目。

SAWATEC

相关产品

产品功能

● 闭合工艺室由 PETP 材质做成（碗和防溅环）

● RCCT 系统（旋转闭合腔体技术 Round-Closed-Chamber-Technology）

● 高动态、直接驱动交流伺服电机

● 旋转速度 6000 rpm +/-1 rpm（可选 10000）

● 可编程电驱动分配手臂，可静态或动态滴胶

● 衬底通过真空固定和安全互锁保护

● 一个滴胶臂，可最大放置 4 路液体管路

● 液体由玻璃瓶和精密计量泵来供应，包括低液体传感报警

● PP材质的废液桶，带有高液位传感器


产品功能

● 数字温度控制及实时温度显示

● 重复工艺的快速启动

● 自动温度限幅开关，避免过热

● 加热工艺可编程多段式，每个工艺最大可设置 20 段

● 电动升降式载片顶针

● 配备安全玻璃，也方便清洁

● 热板极速调平，避免光刻胶流动

● 用户操作的工艺参数配置界面及触摸屏

● 基片通过真空吸附固定

● 手动上下片


性能参数

● 均匀加热区域：200mm × 200mm

● 温度范围：室温到最大 250℃

● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/-0.6℃

● 电动驱动顶针的升降

性能参数

● 均匀加热区域：200mm × 200mm

● 温度范围：室温到最大 250℃

● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/-0.6℃

● 电动驱动顶针的升降