SM-200 半自动匀胶机

型号：SM-200

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：半自动匀胶机 SM-200 可处理没有或表面结构非常低的衬底。SM系列性能卓越，拥有高水平的均匀性和重复性。所有商业光阻剂都可被均匀涂布。针对多种多样的应用设计的专用卡盘，有助于提高在基材选择方面的高度灵活性和可使用性。

SAWATEC

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产品功能

     ● 闭合工艺室由 PETP 材质做成（碗和防溅环）

     ● RCCT 系统（旋转闭合腔体技术 Round-Closed-Chamber-Technology）

     ● 高动态、直接驱动交流伺服电机

     ● 旋转速度 6000 rpm +/-1 rpm（可选 10000）

     ● 可编程电驱动分配手臂，可静态或动态滴胶

     ● 衬底通过真空固定和安全互锁保护

     ● 一个滴胶臂，可最大放置 4 路液体管路

     ● 液体由玻璃瓶和精密计量泵来供应，包括低液体传感报警

     ● PP材质的废液桶，带有高液位传感器