HP-200 柜式热板

型号：HP-200

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：HP-200 热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中，为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认最大可以达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差，可达到非常高质量的工艺水平。HP 系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可处理最大 200 × 200mm 尺寸的基片。 热板加热表面有玻璃盖板，方便清洁。有此高端设计，也可大限度降低维护成本。因此，SAWATEC 热板是实验室、研发、试产项目以及研究所的优选。

SAWATEC

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产品功能

     ● 数字温度控制及实时温度显示

     ● 重复工艺的快速启动

     ● 自动温度限幅开关，避免过热

     ● 加热工艺可编程多段式，每个工艺最大可设置 20 段

     ● 电动升降式载片顶针

     ● 配备安全玻璃，也方便清洁

     ● 热板快速调平，避免光刻胶流动

     ● 用户操作的工艺参数配置界面以及触摸屏

     ● 基片通过真空吸附固定

     ● 手动上下片


性能参数

     ● 均匀加热区域：200mm × 200mm

     ● 温度范围：室温到最大 250℃

     ● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/- 0.6℃

     ● 电动驱动顶针的升降