HP-200 柜式热板

型号：HP-200

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：HP-200 热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中，为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认最大可以达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差，可达到非常高质量的工艺水平。HP 系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可处理最大 200 × 200mm 尺寸的基片。 热板加热表面有玻璃盖板，方便清洁。有此高端设计，也可大限度降低维护成本。因此，SAWATEC 热板是实验室、研发、试产项目以及研究所的优选。

SAWATEC

相关产品

产品功能

● 数字温度控制及实时温度显示

● 重复工艺的快速启动

● 自动温度限幅开关，避免过热

● 加热工艺可编程多段式，每个工艺最大可设置 20 段

● 电动升降式载片顶针

● 配备安全玻璃，也方便清洁

● 热板快速调平，避免光刻胶流动

● 用户操作的工艺参数配置界面以及触摸屏

● 基片通过真空吸附固定

● 手动上下片


性能参数

● 均匀加热区域：200mm × 200mm

● 温度范围：室温到最大 250℃

● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/- 0.6℃

● 电动驱动顶针的升降


性能参数

● 均匀加热区域：200mm × 200mm

● 温度范围：室温到最大 250℃

● 温度均匀性：100℃ 时温差范围 +/- 0.6℃

● 电动驱动顶针的升降