PHI ADEPT-1010 动态二次离子质谱仪

型号：ADEPT 1010

品牌：PHI

分类：质谱仪

简述：PHI ADEPT-1010 型四级杆动态 SIMS 采用独特的二次离子提取系统，该系统能够提高二次离子传输性能。

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ADEPT-1010 型四级杆动态 SIMS 采用独特的二次离子提取系统，该系统能够提高二次离子传输性能。高的离子传输性能提高了深度分析的检测限，使得 ADEPT 能出色完成对离子注入结构的深度和剂量检测任务。这些离子注入过程中的关键参数测试的重复性精度可以控制在几个百分点，符合半导体行业的需求。ADEPT-1010 的超高真空检测环境有助于对低浓度大气污染物进行深度剖析，同时保持了出色的深度分辨率和低溅射率。这种检测能力对于高速半导体器件的检测信息完整性而言至关重要。应用 SIMetric 软件，实现高效快速测试的同时，ADEPT-1010 能自动分析分析多个样品，实现无人值守。


产品特点

● 高灵敏度二次离子检测光学系统

● 悬浮电位离子枪适于浅注入层分析

● 对大气污染物组分具有低检出限

● 绝缘体深度分析

● 高精度自动样品台

 

ADEPT-1010 专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计，是大多数半导体开发和支持实验室的常用工具。通过优化的二次离子收集光学系统和超高真空设计，提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度。