ADEPT 1010 动态二次离子质谱仪

型号：ADEPT 1010

品牌：PHI

分类：质谱仪

简述：动态二次离子质谱仪（D-SIMS）是使用一次离子束（通常是Cs源）轰击样品表面，而产生二次离子，然后用质谱分析仪分析二次离子的质荷比（m/q），从而得知元素在样品中的深度分布，是分析半导体掺杂和离子注入的有力的工具。

PHI

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优势

     ● ULVAC-PHI 新设计的四极杆-二次离子质谱仪 ADEPT 1010，在原有的 PHI 6300 和 PHI 6600 的基础上，改善了离子光学系统，是在一次离子能量低至 250eV 时，仍保持有效的溅射束流的动态二次离子质谱系统（D-SIMS）。


特点

     ● 大束流低能量离子枪设计，提高了深度分辨率

     ● 高性能离子光学系统，改善了二次离子传输效率，在提高分析效率的同时又提高了检测灵敏度

     ● 高精度全自动 5 轴样品操控台

     ● 不同方向进入检测器的二次离子，均可被高灵敏地收集检测

 

应用实例分析

     ● 采用一次离子源 Cs 在加速 5kV 束流为 100nA 的条件下，分析 GaAs 中注入的 H，C，O 元素。可以看到 H 检测限值 7.1 × 1016 atm/cm3，O 检测限值 4.4 × 1015 atm/cm3，C 检测限值 2.0 × 1015 atm/cm3。