DTN系列 高温氮气烘箱

型号：DTN系列

品牌：Yamato

分类：高温烘箱

简述：洁净度100级、氧浓度低于 20ppm 的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

Yamato

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     ● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤

     ● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2 消耗量极低

     ● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响

     ● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节

     ● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收

     ● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式

     ● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置

     ● 最高工作温度 360℃ 和 500℃、洁净度100级、氧浓度低于 20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶 PI、PBO 固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等