SM-150 手动匀胶机

型号：SM-150

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的优选，适用于表面没有或有非常低形貌的基板涂胶作业。大多光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸最大为150 mm (6”)的晶圆或尺寸为127 × 127 mm (5” × 5”)的基板上。工艺腔设计可满足最大直径为176 mm。

SAWATEC

相关产品

     ● SM 系列的优点在于，具有高度涂膜均匀性和工艺重复性，且操作简单、使用舒适。为了减少花费在工艺腔清洁上的精力，SAWATEC 公司开发了一种实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可简单地移除和清理这种保护碗。经由如此的高品质设计，也能将维护成本降低。因此，SAWATEC 匀胶机可被优先应用于实验室、研发、试产项目及研究所。

     ● 该匀胶机可提供便携桌上式和内嵌式两种方式。


产品功能

     ● 可编程，最多 50 个程序，适用于重复工艺的快速启动功能

     ● 触摸屏面板控制，方便用户程序配置

     ● 工艺参数：转速、加速度、工艺时间

     ● 旋转方向可选（顺时针、逆时针）

     ● 手动装卸基板

     ● 通过具有安全保护的真空系统进行基板固定

     ● 手动盖子带有空气入口和闭合安全保护


性能参数

     ● 转速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm

     ● 工艺时间最长为 2376 s

     ● 每个程序段的给胶时间为 99 s


附加功能（可选项）

     ● 半自动的管式给胶系统

     ● 工艺腔的手动氮气净化装置

     ● 用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关

     ● 经阳极电镀处理的铝制工艺腔

     ● 铝制或 PE（聚乙烯）材料制成的工艺腔保护碗

     ● 用于 SM-150 匀胶机的真空泵

     ● 晶圆定位器 2" – 6" (圆形)


旋转卡盘分类

     ● 为了达成良好的涂覆效果，SAWATEC 提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择好的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具。