HP-150 桌面式热板

型号:HP-150

品牌:SAWATEC

分类:匀胶喷胶热板显影

简述:HP-150热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中,为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认最大可达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差,可达到非常高质量的工艺水平。 HP系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可以处理最大150 × 150mm尺寸的基片。 热板加热表面有玻璃盖板,方便清洁。有此高端设计,也能大限度降低维护成本。因此,SAWATEC热板是实验室、研发、试产项目及研究所的优选。

产品功能

     ● 数字温度控制及实时温度显示

     ● 自动温度限幅开关,避免过热

     ● 配备安全玻璃,也方便清洁

     ● 热板快速调平,避免光刻胶流动

     ● 基片通过真空吸附固定

     ● 手动上下片


性能参数

     ● 均匀加热区域:150mm × 150mm

     ● 温度范围:室温到最大 250℃

     ● 温度均匀性:100℃ 时温差范围 +/-1℃