型号:HP-150
品牌:SAWATEC
分类:匀胶喷胶热板显影
简述:HP-150热板应用于光刻、MEMS 或相似工艺中,为提供精准的前烘和后烘工艺而存在。温度范围默认最大可达到 250°C。设定温度与实际温度之间几乎无偏差,可达到非常高质量的工艺水平。 HP系列热板具备高水平的温度精度重现性以及温度分布均匀性。可以处理最大150 × 150mm尺寸的基片。 热板加热表面有玻璃盖板,方便清洁。有此高端设计,也能大限度降低维护成本。因此,SAWATEC热板是实验室、研发、试产项目及研究所的优选。
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