SMD-200 半自动显影机

型号：SMD-200

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：对曝光后的光刻胶进行显影是很关键的一步，因此需要谨慎选择显影工艺和显影剂。半自动显影机 SMD-200 可保证即使再厚的胶层均可实现高超的显影工艺效果，低化药消耗及可靠的重复性。SMD 系统可以用于清洗、显影和刻蚀。

SAWATEC

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产品功能

     ● 闭合工艺腔体起到安全保护作用，材质 PP(SMD) 或不锈钢 (SMD-E)

     ● 腔体能容纳片子尺寸最大 200 mm

     ● 转速最大 3000 转，误差 +/-1 （依赖于基板尺寸和重量）

     ● 电驱动喷洒手臂，可静态或动态显影包含显影管路和溶剂罐

     ● 手臂上有去离子水清洗和氮气吹干机械式固定基板


选配功能

     ● 额外的显影管路（最多 4 路）

     ● 两个显影手臂

     ● 可加热显影罐（2 升）

     ● 不同大小材质的喷嘴（PEEK，不锈钢，0.3/0.5/0.8 mm）