iSPRAY-300 半自动喷胶机

型号：iSPRAY-300

品牌：SAWATEC

分类：匀胶喷胶热板显影

简述：针对具备高度结构化晶圆形貌、深度 MEMS 结构或不平整表面特征的基板，SAWATEC 的 iSPRAY-300 能确保尽可能均匀的喷涂效果。它是一款精密的喷胶机，适用于手动喷涂或喷雾显影工艺，主要被应用于研究与开发实验室，尤其是 MEMS 加工的试产和小量产场合。 经过工艺优化的喷嘴能够结合低粘度的、特别适用于喷涂作业的光刻胶生成精细的小液滴。在一个封闭式工艺室中喷嘴经由“弓”字型行进路径进行喷涂，由此可确保整个基板表面上均匀的喷涂效果及高度可再现性。

SAWATEC

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产品功能

     ● 可编程，最多 50 个程序

     ● 最多可同时喷涂 4 个晶基板

     ● 适用于重复工艺的快速启动功能

     ● 触摸屏面板控制，方便用户程序配置

     ● 工艺参数：喷嘴行进路径，喷洒臂速度，喷洒时间，锥形束形状电气驱动的喷洒臂，其在 X 或 Y 轴方向上的速度可选

     ● 可调整的喷嘴，具有恒定的喷洒压力和自动的清洁功能

     ● 用于计量压缩空气和检查真空度的指示元件

     ● 手动装卸基板


性能参数

     ● 喷洒臂的速度和定位精度：最大 0.4 m/s，±0.1 mm

     ● 每个分段的喷洒时间：最长为 9999 秒，调节步幅为 0.1 秒

     ● 喷洒循环的数目：最多 20 个曲回循环

     ● 环境温度：+4 至 +60°C

     ● 圆形或方形基板

     ● 适用 300 mm 的晶圆或 12×12 英寸的基板