TS-200/2000HP 功率器件在片测试系统

型号:TS-200/2000HP

品牌:MPI

分类:功率器件在片测试系统

简述:系统主要基于 Keysight B1505 功率器件分析仪器和 MPI 200mm 大功率探针台,MPI功率系列探针台是非常适用于实验室分析的手动和半自动功率探针台解决方案,支持电压高达 3kV(Trixial)/10kV(Coaxial),电流高达600A(探针),且支持外部编程控制,可与测试机协同完成自动化测试。两者协同工作,主要完成大功率SiC器件晶圆级IV特性和寄生电容特性在片测试,测试范围 3kV,可扩展 10kV,最大电流 300A,寄生电容测试最高偏压 ±3kV,可自动切换测试 SiC MOSFET 和 IGBT的输入电容,输出电容和米勒电容,满足客户对于SiC功率器件的测试。

     ● 兼容 8 寸及以内晶圆,可定制 chuck 支持 Taiko 的晶圆

     ● 最高电压 3 kV,电流 130 A(后期可升级10 KV 500 A)

     ● 晶圆级三端垂直导电器件 SiC MOSFET(水平器件)

     ● 温度范围 -60℃ ~ 300

     ● 可进行 3 kV 高压偏置电容测量,全自动切换测试 Ciss,Coss,Crss,最佳测试频率 100 kHz

     ● 支持探针和探卡两种针测方式