TS150&TS200&TS300 探针台

型号：TS150&TS200&TS300

品牌：MPI

分类：手动探针台

简述：直流/射频手动探针台四大应用领域分别半导体行业、光电行业、集成电路、封装测试。

MPI

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     ● DC 直流 /（IV、CV）测试

     ● 低电流（100fA 级）测试

     ● 器件表征测试、WLR 可靠性

     ● 大功率 / 大电流 / 大电压测试等

     ● RF 射频测试

     ● 1/f 噪声测试

     ● FA 失效分析测试


探针台主体

     ● XY行程范围：6 英寸 - 12 英寸

     ● XY行程分辨率：< 1.0 µm


样品台

     ● 样品台：4 英寸 - 12 英寸

     ● 高温：20 - 300°C

     ● 大电压大电流：3000V / 1500A


定位器

     ● X-Y-Z移动行程：12mm × 12mm × 12mm

     ● 移动精度：10um / 2um / 0.7um / 0.5um


线缆

     ● 同轴线 / 三同轴线

     ● 漏电精度：10pA / 100fA / 10fA


探针

     ● 针尖直径：0.2um / 1um / 2um / 5um / 10um / 20um

     ● 针尖材质：钨钢 / 铍铜


屏蔽系统

     ● EMI / RFI / 不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能


防震系统

     ● 阻尼隔振系统 / 精密气浮隔震台

     ● 平面度：< 0.05mm/m2

     ● 表面粗糙度：< 0.8μm