TS150&TS200&TS300 探针台

型号：TS150&TS200&TS300

品牌：MPI

分类：手动探针台

简述：直流/射频手动探针台四大应用领域分别为：半导体行业、光电行业、集成电路、封装测试。

MPI

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● DC 直流 /（IV、CV）测试

● 低电流（100fA 级）测试

● 器件表征测试、WLR 可靠性

● 大功率 / 大电流 / 大电压测试等

● RF 射频测试

● 1/f 噪声测试

● FA 失效分析测试


探针台主体

● XY行程范围：6 英寸 - 12 英寸

● XY行程分辨率：< 1.0 µm


样品台

● 样品台：4 英寸 - 12 英寸

● 高温：20 - 300°C

● 大电压大电流：3000V / 1500A


定位器

● X-Y-Z移动行程：12mm × 12mm × 12mm

● 移动精度：10μm / 2μm / 0.7μm / 0.5μm


线缆

● 同轴线 / 三同轴线

● 漏电精度：10pA / 100fA / 10fA


探针

● 针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm / 20μm

● 针尖材质：钨钢 / 铍铜


屏蔽系统

● EMI / RFI / 不透光屏蔽，超低噪声，低泄漏测量功能


防震系统

● 阻尼隔振系统 / 精密气浮隔震台

● 平面度：< 0.05mm/m2

● 表面粗糙度：< 0.8μm