805 解键合系统

型号：805

品牌：EVG

分类：光刻/键合

简述：EVG 的 805 解键合系统是一种高效的解键合解决方案，用于制造各种微电子器件，特别适用于高频、高功率等特殊需求。

EVG

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主要特点

● 高效键合：采用先进的解键合技术，提供高效、稳定的键合过程

● 多种解键模式：提供多种解键模式，以满足客户不同的需求

● 高精度光学定位：采用高精度光学定位技术，确保键合精度，从而提高生产效率

● 易于使用：具有易于使用的操作界面，操作员可以快速上手

● 可靠性：采用先进的设计理念和技术，具有很高的可靠性


EVG 805 解键合系统的工艺流程通常包括以下步骤：

1. 预处理：清洗并准备样品，以确保样品表面干净无污染

2. 键合：使用 805 解键合系统在样品表面上进行键合处理，包括表面预处理、键合反应和残留物处理等

3. 质检：对键合后的样品进行质量检查，以确保键合效果符合要求

4. 解键合：使用 805 解键合系统对键合后的样品进行解键合处理

5. 结果分析：对键合和解键合后的样品进行分析，以评估键合效果和解键合效率