型号:620BA
品牌:EVG
分类:光刻/键合
简述:EVG 620BA 对准系统是 EVG 公司生产的一种光学对准系统。主要用于帮助用户精确地对齐样品,以确保高质量的光学处理。EVG 620BA 对准系统具有高精度、高速度、高可靠性等优点,适用于许多不同的光学处理应用,如光学键合、光刻等。
EVG 620BA 对准系统通过使用高精度的测量传感器,如相机或扫描仪,来确定样品的对齐情况,并使用控制系统对样品进行微调,以确保样品的精确对齐。
主要特点
● 高精度:通过高精度的测量传感器来确定样品的对齐情况,以保证样品的精确对齐
● 高速度:通过快速的控制系统,系统可以快速地对样品进行微调,以确保样品的精确对齐
● 高可靠性:EVG 620BA 对准系统经过了严格的质量控制和测试,以保证其高可靠性和可靠性
主要应用领域
● 光学键合:通过精确对齐样品来保证光学键合的高质量
● 光刻:精确对齐样品以确保光刻的高质量
● 光电处理:通过精确对齐样品来保证光电处理的高质量
● 其他光学处理应用:EVG 620BA 对准系统可用于其他光学处理应用,如微纳光学等
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