X'Pert³ MRD 高分辨X射线衍射仪

型号：X'Pert³ MRD

品牌：Malvern Panalytical

分类：X射线衍射仪XRD

简述：高分辨率X射线衍射仪，主要用途为测量 Si, Ge, SiC, GaN, InGaN, AlGaN, GaAs, InP, AlN, GaSb 等化合半导体材料的单晶和外延层材料的结晶完整性，外延层及相应半导体器件结构的组分、厚度、弛豫度等参数的测定，外延结构的晶格失配及应变状态分析，X-Y map均匀性分析，双轴晶和三轴晶X射线衍射，对称和非对称扫描，Out-of-plane 和 In-plane 衍射扫描等。

Malvern Panalytical

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设备功能

     ● 倒易空间扫描(RSM) – 一分钟完成自动扫描及自动分析

     ● 高分辨衍射(HRXRD) – W/2T，2T/W，2T……扫描

     ● 摇摆曲线(Rocking Curve) – W 扫描

     ● 反射率(XRR) – 材料密度，厚度，粗糙度(Option)

     ● 晶格参数(Lattice parameter)，晶向(Orientation)及晶面鉴定(Reflection plane)

     ● 切角(Off-Cut)及平辺方向(Flat)鉴定

     ● 晶体缺陷鉴定(Defect)

     ● 曲率半径鉴定(Curvature)

     ● 应力(Strain)及弛裕度(relaxation)鉴定

     ● 晶格失配率鉴定(Mismatch)

     ● 成份分析，厚度分析