Triton40 等离子清洗机

型号：Triton40

品牌：JET PLASMA

分类：等离子清洗机

简述：该设备主要应用于材料表面有机污染物的去除，纳米级金属氧化层去除，增强表面胶体流动性，消除涂层、塑封料的分层，提升表面能，实现难粘材料的有效结合，以及表面粗化与微蚀：消除表面应力，使材料更易结合。光刻胶去除，纳米级表面粗化，应力释放等。

JET PLASMA

相关产品

应用领域

表面清洁与活化

     ● 材料表面有机污染物的去除

     ● 去除纳米级金属氧化层

     ● 增强表面胶体流动性，消除涂层、塑封料的分层

     ● 提升表面能，实现难粘材料的有效结合

     ● 表面粗化与微蚀：消除表面应力，使材料更易结合


表面粗化及微刻蚀

     ● 纳米级表面粗化，应力释放

     ● 光刻胶去除

     ● 对多种材料的选择性刻蚀


设备特点

     ● 设计紧凑的桌面型等离子工艺平台，易于与厂务端连接

     ● 可靠的腔体结构设计，确保工艺腔体具备优异的气密性与耐用性

     ● 优秀的进气、排气设计，保证工艺过程的均匀性

     ● 支持多种电极形式与最多 4 路工艺气体，适用于处理各种产品并适应多种工艺要求

     ● 直观的图形控制界面，通过触屏可实时观察、控制工艺过程

     ● 13.56MHz 射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性和可重复性


标准技术规格

     ● 设备备尺寸：635W × 860D × 690H mm

     ● 腔体尺寸：340W × 456D × 280H mm，43L

     ● 腔体支持最大电极数量：8，电极间距：57mm

     ● 功率电极尺寸：226W × 320D mm，接地电极尺寸：300W × 320D mm

     ● 射频功率及频率：300W / 13.56MHz

     ● 气路配置：标配两路 / 最多可扩充至 4 路气体

     ● 真空泵标准配置：25m³/h 油泵