等离子体光谱仪/OES/PES

型号：Crookes

品牌：Dezisemi

分类：等离子体光谱检测

简述：等离子体光谱仪-Crookes，针对半导体等离子体工艺设备开发，兼具原位监控和谱线分析功能，解决等离子体工艺稳定度监控，等离子体工艺过程监控，等离子体工艺实时反馈控制，适用于等离子体工艺相关的工艺研发和产线监控。

Dezisemi

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设备原理

通过搜集原子发射光谱并分析特征波段/波长的谱线实现对等离子体的监控和反馈控制。

等离子体光谱检测原理

设备构成

● 等离子体发光光谱仪

高性能光谱仪，覆盖紫外到红外波段，精度/灵敏度根据工艺需求选择，可检测绝大部分微加工制备工艺涉及的元素。

● 等离子体监控&分析软件

针对反馈控制，终点检测，稳定性监控等多种工艺需求定制，可实时显示光谱变化三维图，优化积分算法处理判定。根据用户自定义添加的光谱数据库。

● 光学系统集成

可定制化系统集成，真空外检测和真空内检测多种集成方式，防镀膜设计光学探头。

主要功能和特色

● 实时等离子体光谱采集，全数据时域&频域光谱分析

● 自动谱图寻峰及原子谱线数据库匹配

● 等离子体光谱单一峰位&连续波段积分强度监视

● Recipe编译/执行操作模式

软件特点

主要应用

● 等离子体刻蚀终点检测（IBE/IRBE/RIE/ICP-RIE）

● 等离子体稳定度均匀度检测（大面积离子源，腔内等离子体分布）

● 等离子体反应气体组分控制（反应溅射沉积，HiPims，PECVD，Plasma Clean，ATM Plasma）

刻蚀终点检测原理

刻蚀终点检测

软件算法优化

多层膜终点检测