Strain Viewer 内应力检测仪

型号：SV50 / SV200

品牌：瑞霏光电

分类：晶圆翘曲应力测量仪/内应力检测仪

简述：Strain Viewer 内应力检测仪具备透光材料内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能。

瑞霏光电

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优势

●  基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量，显示应力二维分布伪彩图
●  采用双远心检测光路，相位延迟测量精度高
●  根据不同测量视场要求，多种镜头可选
●  订制化样品托盘，适应不同规格晶圆批量测试


适用对象

适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件（平晶，棱镜，波片，透镜等）的内应力检测


适用领域
面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业


检测原理
●  基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应，偏振光透过它时会发生偏振态调制，通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的应力延迟量，从而得到材料内应力分布
●  可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测


实测案例

Strain Viewer技术规格




瑞霏光电内应力检测仪将全口径延迟、应力方位角等分析整合进入一键测量，确保客户能快速确认工艺。