CT8201 激光器芯片双温测试系统

型号：CT8201

品牌：Stelight

分类：光芯片测试系统

简述：CT8201 激光器芯片双温测试系统是针对半导体 DFB 或 EML 激光器在常温、高温两个不同温度下进行的光电特性 LIV 扫描测试、EA 扫描测试、光谱扫描测试。系统主要由晶圆供给区、芯片搬运区、芯片位置校正区、芯片 OCR 提取区、芯片测试区、芯片收纳区共六部分组成。系统集成了①从晶圆环上料→②运输→③DUT ID扫描→④高/低温测试→⑤下料→⑥分拣归类。 CT8201 支持激光器前向/后向光电测试。

Stelight

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     ● 高度集成全自动化解决方案，覆盖非常复杂的测试

     ● 支持测试温度范围 25-95 度 

     ● 测量完成 DUT 可自动分类 


激光二极管芯片测试参数

LIV测量参数

     ● Ith阈值电流 < 1%

     ● SE斜效率 < 2%

     ● Iop工作电流

     ● Vop工作电压

     ● Pop工作功率

     ● Pbop背向工作功率

     ● Vf正向工作电压

     ● Pf前向功率

     ● Pb背向功率

     ● Rs等效电阻

     ● PfKink功率Kink

     ● PfIkink电流Kink

     ● PfLineary前向功率线性度

     ● PbKink前向功率Kink

     ● PbIkink背向功率Kink

     ● PbLineary背向功率线性度

     ● Iroll滚降电流点


光谱测量参数

     ● ʎc中心波长 <20pm@可调激光器/<0.1nm@其它激光器

     ● ʎp峰值波长 <20pm@可调激光器/<0.1nm@其它激光器

     ● SMSR边模抑制比 <3dB

     ● SMSR边摸抑制比 <2dB

     ● Pʎp峰值功率

     ● ʎ2pL左边第二峰值波长

     ● Pʎ2pL左边第二峰值功率

     ● ʎ2pR右边第二峰值波长

     ● PΛ2pR右边第二峰值功率

     ● DeltaPLR左右峰值功率差值

     ● FWHM3dB 带宽

     ● 20dB Bandwidth20dB 带宽


EA测量

     ● IdarkEA暗电流

     ● EREA 直流小光比 <+/-0.2dB

     ● LVI Curve功率& EA电流曲线 vs EA偏置电压


近场远场

     ● Near Field Beam waist近场束腰

     ● Near field angle @ X axisX 轴近场发散角

     ● Near field angle @ Y axisY 轴近场发散角

     ● Near M^2M 平方因子

     ● Far field angle @ Y axisX 轴远场发散角

     ● Far field angle @ X axisY 轴远场发散角


激光二极管芯片测试系统指标

系统特性

     ● DUT 类型：Die or CoC/CoS

     ● 芯片ID识别成功率：99%

     ● 分类功能：支持 4-6 晶圆盘，软件配置分类计划

     ● 光测试能力：同时支持前向/背向光测试

     ● 温区数量：2温区测试座

     ● NG DUT 容器：支持

     ● ESD保护：所有和 DUT 相关的材料都是 ESD 防护的，良好接地

     ● 周期时间：<8s 完成所有流程测试，包括：上料/运输/下料/分类/LIV测试/光谱测试


温度控制

     ● 温度控制方法：TEC 和加热板

     ● 温度控制范围：0°C 到 100°C

     ● 温度控制分辨率：± 0.1°C

     ● 温度控制精度：± 1°C

     ● 温度控制稳定度：± 0.5°C

     ● 温度防护能力：硬件防护@ >150°C


激光器控制

     ● 激光器驱动类型：每个芯片独立驱动

     ● 驱动电流极性：双极性

     ● 驱动电流范围：3A CW 和脉冲 10A

     ● 脉冲工作模式：支持 50us 脉冲到 CW，占空比 0-100%

     ● 驱动电流回读：包含

     ● 驱动电流分辨率：0.05% @满量程

     ● 驱动电流精度：± 0.05% @满量程

     ● 驱动电流稳定度：± 0.03% @满量程

     ● 驱动一致性电压：0-+/-60V 可配置

     ● 电压测量范围：+/-60V

     ● 电压测量精度：± 10mV

     ● 电压测量分辨率：0.03%

     ● 驱动电压范围：<0%

     ● 驱动电压精度：<0%

     ● 驱动电压分辨率：<0%

     ● 标称工作电过冲：<0%

     ● 异常工作电过冲：±3.3V

     ● 标称工作电下冲：±5V

     ● 异常工作电下冲：±50mV

     ● 时间探测：功率丢失、网络丢失、短路、开路和过温


光学测量

     ● 光功率测量能力：同时支持前向/背向测试

     ● 光功率测量范围：0-30 mW

     ● 光功率波长范围：900-1700 nm

     ● 光谱范围：700-1650 nm

     ● 光波长精度：50 pm

     ● 光波长分辨率：50 pm


机构参数

     ● DUT上料能力：6 英寸晶圆盘；X/Y/角度可调；XY 移动距离 80 mm

     ● DUT 位置精度：XY 位置精度 ≤10μm；重复性 ≤±1μm；旋转位置精度 ≤0.1° 旋转重复性 ≤0.1°

     ● DUT 捡起精度：移动范围 4 mm；重复性 ≤2μm

     ● DUT 探针精度：移动范围 3 mm；重复性 ≤2μm

     ● DUT 传输机构：均采用高精度步进电机带动，同步带传动，高精度滑轨导向实现


通用参数

     ● 尺寸：1250×1000×1800 mm（L×W×H）

     ● 输入气体压力：0.4-0.6 Mpa

     ● 输入交流电源：200-240 V, 50-60 Hz

     ● 计算机型号：Advantech

     ● 操作系统：Microsoft Windows 7

     ● 软件平台：Microsoft .Net

     ● 软件语言：C#

     ● 数据库：SQL

     ● 器件连接测试工具：集成

     ● 测试计划配置工具：集成

     ● 测试数据查询工具：集成