半导体工艺设备

• 匀胶喷胶热板显影
• 化学气相沉积
• 等离子体刻蚀
• 真空镀膜设备
• 原子层沉积
• 氧化炉/扩散炉
• 等离子去胶设备
• 激光退火/激光切割

半导体检测设备

• 椭偏膜厚仪
• X射线衍射仪XRD
• 晶圆膜厚测试仪XRF
• X射线光电子能谱XPS
• 俄歇电子能谱仪AES
• 质谱仪
• 锁相红外显微成像系统
• AOI光学检测
• 等离子体光谱检测

半导体封装设备

• 焊线机
• 平行封焊
• 点胶机
• 等离子清洗机
• 推拉力测试机
• X-RAY检测
• 高温烘箱
• 水滴角测试
• 超声波显微镜

半导体测试设备

• 半导体参数分析仪
• 示波器
• 网络分析仪
• 阻抗分析仪
• 手动探针台
• 半自动探针台
• 全自动探针台
• 半导体测试ATE